I
Eindhoven, Noord-Brabant, Nederland
Invisix ontwikkelt soft X-ray meetsystemen die via high harmonic generation, reconstructiealgoritmen en machine learning 3D-structuren van chips in kaart brengen voor logic- en memoryproductie.
Invisix Measuring Systems ontwikkelt soft X-ray meetsystemen voor de productie van geavanceerde logic- en memorychips. Het bedrijf werd in 2025 opgericht als een spin-out van ASVL-lid ASML en is gevestigd in Eindhoven. Het kernteam bestaat uit oud-ASML-medewerkers en natuurkundigen met een PhD. De onderliggende SXR-technologie is jarenlang ontwikkeld en gedegradeerd op technisch risico voordat het bedrijf werd gevormd.
De meettechnologie is gebaseerd op high harmonic generation (HHG), waarmee soft X-ray licht wordt geproduceerd met een golflengte die is afgestemd op de schaal van chipstructuren. Dit wordt gecombineerd met eigen reconstructiealgoritmen en machine learning om gedetailleerde 3D-structuren van binnenuit chips in kaart te brengen. Het vakgebied raakt daarmee aan soft X-ray metrologie, computationele beeldvorming, 3D-reconstructie, machine learning en semiconductor process control.
De toepassing richt zich op procesbeheersing in high-volume manufacturing voor advanced logic en memory. Het werk is diepgaand en fysica-gebaseerd, met als doel de verlenging van Moore's Law. De wortels van het bedrijf liggen in de high-tech innovatiehub van Eindhoven.